个人简介：1999年于南京大学化学化工学院获高分子化学与物理博士学位，1999年11月到2000年12月，上海有机化学研究所博士后；2001年到2003年，美国普林斯顿大学电子工程系博士后；2005年1月到10月，美国加州大学洛杉矶分校机械与航空航天系访问学者。2004年1月起在南京大学现代工程与应用学院材料科学与工程系任副教授、教授。主要从事微纳加工技术与纳米压印技术的研究，研发了数种新型纳米压印材料；发展了复合高分子压印模板与曲面纳米压印技术；研制的紫外光固化和热压两用纳米压印设备已被国内外多家科研机构与生产企业所采用。在Nano Lett.、Adv.Func.Mater.、Appl.Phys.Lett.等国际学术刊物上发表论文40余篇，国内国际发明专利10多项。

       摘要：我们将介绍一种纳米压印—软压印相结合的复合纳米压印技术，它的核心是一种由弹性支撑层与刚性结构层组成的复合压印模板，把纳米压印技术高分辨率、适于量产的技术优势与软压印技术的模板可弯曲性、易操作性的特点有机结合，能够有效解决纳米压印易产生缺陷的技术瓶颈，满足工业化制造的要求，并把纳米压印技术从平面拓展到曲面等复杂形貌表面。我们将进一步列举几种由复合纳米压印技术制备的纳米图案结构与器件。

       个人简介：TBD

       摘要：纳米压印作为一种高效率、低成本的纳米尺度的结构复制技术在过去的一年快速渗透到更多行业，如衍射光学器件、微机电系统、AR眼镜、3D传感器、生物芯片等等的硬件解决方案都需要用到纳米压印技术。过去的一年纳米压印从材料、工艺、设备等各个方进一步完善和稳步提升，许多本土生产的材料和设备陆续涌现。苏州固益微纳科技有限公司作为一家纳米压印设备制造工厂推出的纳米压印设备和纳米压印拼版设备，可广泛使用在各种尺度的微纳结构转印。

      个人简介：Andrea Kneidinger是EV集团的业务开发经理，她主要负责微纳米压印光刻技术在应用领域的推广实现，尤其是纳米光子学和圆晶级光学行业。Andrea在Deggendorf科技学院和布达佩斯科技大学学习技术和创新管理专业，并获得了工程硕士学位。在电气工程和产品管理方面，她积累了数年的工作经验，特别是材料学、光学和光子学。

      摘要：近年来，圆晶级纳米压印光刻技术（NIL）逐渐成为驱动整个光子行业新设备和新应用发展的核心动力。光学传感器、增强现实（AR）装置以及生物芯片的先进制造商们已经将NIL技术用于生产，并从中获益，包括以低成本实现微米级和纳米级结构的规模化生产。

      个人简介：冀然，青岛天仁微纳科技有限责任公司董事长，创始人。拥有德国亚琛工业大学硕士学位和德国马普微结构物理所博士学位，师从欧洲纳米压印之父Kurz教授开创了纳米压印设备和材料的商用领域，在纳米压印和微纳加工领域拥有二十年经验。博士毕业后在德国半导体设备上市公司负责纳米压印设备开发和产业化推广，任纳米压印技术首席科学家。2015年归国创办青岛天仁微纳科技有限责任公司，经过短短几年的时间发展，公司的纳米压印设备和全套解决方案打败国际诸多竞争对手，占领国内微纳光学和生物芯片生产的超过90%市场份额。

      摘要：随着纳米压印技术的渐渐成熟，近几年开始越来越多的被应用在微纳光学领域，如衍射光学元件 DOE、微透镜阵列、AR 波导光栅等。微纳光学元件的应用领域非常广泛，如 3D 传感、AR 眼镜、屏下指纹识别、手机摄像头、高端照明、光谱仪、医疗器械等。GremanLitho 有限公司的纳米压印技术提供了12 英寸面积上优于20 纳米精度和 10 比 1 深宽比的纳米光刻全套解决方案，可以被广泛应用在微纳结构产品生产领域。

      个人简介：田克汉博士长期从事微纳衍射光学，三维光学系统和半导体精密制造的最前沿研究。田博士于清华大学精密仪器系获得学士和硕士学位，于美国麻省理工学院获得博士学位。田博士曾任职于美国IBM公司TJ Watson研究中心和半导体研发中心，担任资深科学家/研究员（教授级）。田博士回国创立驭光科技，致力于微纳衍射光学器件和三维传感器的研发和产业化工作；为客户提供完整的定制化解决方案，广泛用于智能3D传感识别、机器视觉、AR/VR、智能安防、自动驾驶等众多领域。

      摘要：随着半导体技术的发展，近年来微纳光学在消费电子、安防、车载等很多领域得到广泛应用，尤其在AR和3D领域，报告将主要介绍微纳光学在这些领域的工业化研究和进展。

      个人简介：刘泽博士，武汉大学教授，于2007年获哈尔滨工业大学学士学位，2012年获清华大学博士学位，而后在耶鲁大学从事博士后研究，2015年开始任职武汉大学。其研究领域为微纳制造与表界面科学，相关成果发表学术论文70余篇，申请及授权发明专利10余项，2017年获国家自然科学二等奖。主要学术成绩：在国际上首次报道了微米以上尺度、室内大气环境的近“零”摩擦（结构超滑）运动；发明了通过超塑性变形直接大面积制造各种金属表面纳米结构的技术。

      摘要：传感器是物联网的最底层和最前沿，目前成熟的传感器主要是基于硅电子微加工技术。随着传感器的小型化发展趋势，实验室开发的高性能新材料传感器在走向应用时往往受困于低成本的精密制造技术。本报告将汇报课题组在金属（合金）微纳成型精密制造领域的一些进展，包括金属超塑性纳米模塑技术的开发、力学机理及其应用初探。

      个人简介：苏州大学教授，苏州苏大维格科技集团董事长。国家863计划重大项目和国家重大科学仪器专项首席专家。中国工程院院士有效候选人（2013年）。主要研究方向：微纳光学及创新应用。

      摘要：报告介绍微纳智能制造前瞻研究、技术创新和应用现状与展望。信息光子产业是21世纪战略性产业，“微纳智能制造”是推进信息光子产业（元宇宙）发展的必由之路。微纳智能制造的核心问题是光场数字化。报告人所在团队经多年努力，建立了“基于数字化三维光刻的微纳智能制造”平台，在海量数据处理算法、微纳结构精确制备、光场调控与重构和智能复制等方面，突破了百Tb数据量实时计算瓶颈、自主研制成功“网络协同的紫外三维计算光刻装备”（全球首台）和“卷对卷套准纳米压印光刻设备”工业运行，列举了微纳智能制造赋能“新型显示（裸眼3D显示）、增强现实AR、平面成像器件和柔性光电子材料”产业创新与应用的实例。报告认为，“一代装备、一代器件、一代产业”，微纳智能制造正成为信息光电子、光场计算成像和元宇宙等赛道的新引擎，有望催生更多新产品、培育新产业，提升我国信息光子产业自主创新能力与国际竞争力。

      个人简历：深圳大学特聘教授，深圳大学新型金属材料先进制造成型与应用研究中心主任。国家优秀青年基金获得者，主要研究方向为非晶合金的先进制造与应用。在Science Advances等国际期刊上发表学术sci论文60余篇，参与撰写两部英文专著。多次在非晶合金领域国际会议做邀请/口头报告。主持国家自然科学基金、省市级科研项目多项。担任中国电器工业协会非晶合金材料应用分会副秘书长。获得中国非晶与高熵合金杰出青年科学家奖，深圳市海外高层次人才，深圳市优秀教师，深圳大学“荔园优青”等奖励荣誉。

      摘要：利用新型金属非晶态合金超塑性成型机理表现出具有高强度、高精度、高表面光洁度、易于加工成型的优点，通过精确可控的升温系统和快速冷却系统，在超高真空环境下和高温环境下，实现不同材料的微纳精密热力耦合成型。研究成果主要包括：1. 新型非晶合金微纳制造成型装备，该设备具有效率高和稳定性好的优点，可大幅提高非晶合金的热塑性成型效率，成型精度。2.非晶合金的热力耦合制造技术，该技术包括对材料体系的选择与设计、对工艺参数的精确控制以及径向限位工艺等技术手段，能够有效避免了非晶合金在高温下的晶化、氧化等不良现象带来的影响。

       个人简介：程鑫教授1997年毕业于中国科学技术大学地球与空间科学系，1999年获斯坦福大学（Stanford University）地球化学硕士学位，2005年获密西根大学（The University of Michigan）电子工程专业博士学位。2005年2月-12月在普渡大学（Purdue University）进行博士后研究工作。2006年1月-2012年8月在德克萨斯农工大学（Texas A&M University）电子和计算机工程系任助理教授，2012年9月至12月任终身副教授。2013年1月起，在南方科技大学全职工作，任材料科学与工 程系教授和系负责人，兼任南科大分析测试中心负责人。

       摘要：纳米压印技术因其高精度、低成本，在半导体制造、光电显示、生物芯片许多前沿技术中得到广泛关注。不同应用场景，对纳米压印提出了不同的技术要求。虽然纳米压印已经得到产业应用，但扩大其应用场景和市场范围，还需解决一系列技术挑战。本报告关注纳米压印过程中的表面科学、高分子材料力学、界面力学等基础技术问题，并对纳米压印未来需要关注的基础科学和技术问题作分析阐述。

      个人简历：西安交通大学特聘教授，博士生导师。中组部“万人计划”科技创新领军人才，国家杰出青年基金获得者，科技部中青年科技创新领军人才。获得2014年教育部技术发明一等奖（第一完成人）、2021年陕西省科技进步一等奖（第一完成人）。近年来，围绕国家重大需求，聚焦智能传感与微纳制造领域的基础理论和技术应用研究，主持国家公关项目、重点研发计划、重大专项等十余项，发表论文140余篇，其中SCI收录100余篇，授权发明专利80余项。

      摘要：结构场协同调控纳米压印技术，起源于纳米压印复形方法，微纳结构复形能力从深亚微米提升到亚十纳米的工业化制造。面对智能传感器对纳米级特征、多材料体系的三维微纳结构需求，外能场协同调控材料梯度化分布，实现微纳三维结构的近零压印力约束复制。该技术突破了传统光刻技术的半波长效应，推进了材料-结构-功能一体化微纳器件制造技术的发展，提升了智能感知、微纳传感器、广义芯片等领域的制造能力。

       个人简历：李涛，南京大学教授，南京大学首批“登峰人才支持计划”入选者，科技部中青年科技创新领军人才，国家基金委优青获得者，香港“王宽诚”教育基金获得者。长期从事微纳光学、超构材料、光子集成等领域的研究，先后四次获得“中国光学十大进展”，在Nature，Nature Nano，Nature Commun，PRL，Light Sci Appl等刊物发表论文逾100篇，引用超6000次，受邀做国际会议邀请报告50余次。目前担任Chinese Optics Letters, Science Bulletin, Advanced Devices & Instrumentation等多家刊物的编委。

       摘要：近二十年来，纳米加工技术的进步将光科学与技术带入纳米尺度，开辟了一系列光学前沿和颠覆性技术。微纳光子学应运而生，其中光学超构材料是极具学术活力和应用潜力的研究方向。本报告将从近十年来最为活跃的超构表面研究引入，简要介绍其基本工作原理，重点探讨超构透镜技术的发展现状和面临的挑战。并且围绕传统成像技术长期困扰的色差、视场、集成度等瓶颈问题，提出一系列超构透镜的解决方案，对其应用场景做出展望。

      个人简介：Stella W. Pang 是中国香港城市大学的首席教授，担任电气工程系生物系统、神经科学和纳米技术中心主任。她完成了400余篇技术文章、书籍章节和受邀演讲，拥有10项纳米技术和微系统专利，并有4项新专利提交待审。她的主要研究兴趣包括生物医疗、微电机、太赫兹和metadevice（超器件）领域的纳米制造技术。彭教授还是电气电子工程师学会（IEEE）、电化学学会（ECS）、AVS和香港工程师学会（HKIE）的会员。

      摘要：各种设计的纳米结构已经在高性能生物传感器和超器件行业得到了运用。生成这些纳米结构以及其他器件组件将需要快速、均匀并且可重复的纳米技术。纳米压印技术的成功研发已经使得许多应用得以实现。选择合适的印章和材料进行压印，就能通过控制所有相接触的表面的表面能来实现直接纳米压印或反转纳米压印。将多层纳米结构按照需要的设计堆叠在一起，就能形成具有独特特性和功能的三维（3D）器件。本次演讲将展示用于检测细胞和生物分子的高灵敏度3D生物传感器。纳米结构可以用来影响细胞迁移行为。此外，超表面将能通过纳米压印实现。这些超表面将被纳入到高频太赫兹透镜和天线的设计中，并形成用于光线操纵的手性魔角。

      个人简历：陈宜方教授于1995年获得英国牛津大学凝聚态物理系博士学位。曾经在荷兰代尔夫特理工大学(1994-1996)、新加坡南洋理工大学(1996)和英国格拉斯哥大学(1997-2002)从事博士后研究工作。2003年至2012年他受聘于英国卢瑟福阿普尔顿实验室的高级科学家并被晋升为纳米科技首席科学家；他是瑞士洛桑理工大学访问教授（2010）和英国国家物理实验室高级访问研究员(2016-2019)。2012年他作为国家海外高端引进人才加盟复旦大学并于2018年获得国务院政府特殊津贴。陈宜方博士自1990年起，长期从事纳米加工与应用的基础研究，运用电子束光刻/纳米压印/干刻蚀等工艺手段服务于新型纳米光电器件与芯片、InP基高电子晶体管、X射线关键光学部件研制、基于超表面材料的偏振器和涡旋光调控器件、二维纳米光子晶体等方面的基础研究。尤其是在X射线纳米显微镜的关键光学部件研制中，他领导的团队填补了国家空白，并成功研发了15纳米分辨率的新型X射线透镜，达到了国际先进水平。发表了150余篇SCI论文，获得10项国家专利授权。他是Elsevier的微电子工程期刊副主编、欧洲研究院（ERC）远程评审专家等。

      摘要：本报告综述了我们团队研发纳米压印技术研制纳米电子器件、纳米超材料和其它纳米结构等工作。报告展示并讨论了大高宽比纳米压印模板制备、剩余胶去除、热压印中的图形扭曲等技术难题的成功解决方法。在纳米模板制备中，展示了多步骤刻蚀方法形成硅基微尖阵列、纳米光子手性材料、大高宽比SiC模板和三维多台阶结构等工艺手段；双层胶纳米压印工艺的研发使得我们实现非侵入式去除压印剩余胶并且研发T型栅的纳米制造工艺，继而在国际上首次成功研制了InP基高电子迁移率晶体管；在HSQ材料上我们独立完成了室温纳米压印，避免了热压印固有的图形转移扭曲的困惑；在SU-8材料上进行的室温紫外固化压印工艺被成功应用到大高宽比光栅的制备、DNA的纳米标识技术、纳米流体器件、纳米光子晶体超材料和生物传感器等多个方面。所有这些基础工艺的研发为当今工业化应用与发展奠定了坚实的基础。

      个人简介：罗锋，南开大学材料科学与工程学院/电子信息与光学工程学院讲席教授。罗锋现任南开大学材料科学与工程学院讲席教授，西安交通大学兼职讲座教授(2018-2020)。1995 年至 2004 年就读于北京大学化学与分子工程学院，获学士和博士学位。2004年至 2009年在德国和瑞士从事博后工作，2009年至2010年在北京大学工学院担任PI特聘研究员。2010年至2020年就职于西班牙高等研究院纳米研究所，历任副研究员、研究员、终身制资深研究教授，2020 年至今就职于南开大学，先后入选欧盟玛丽居里学者、西班牙杰出青年基金、西班牙 I3 杰出教授、第十五批国家重大人才项目等，目前担任深圳综合粒子研究院科创委委员，深圳产业光源集成电路板块顾问，上海光源用户委员会委员，兰州航空集成电路与新材料研究院理事。

      摘要：简要回顾纳米压印技术，重点介绍其用于半导体领域的图案化器件的微/纳米制造和超精密制造。

       个人简介：06年北京大学化学博士学位，09年瑞典隆德大学物理博士学位。国内最早从事纳米压印技术研究的科研工作者之一，01年在北大研究生期间即开始了对该技术的科学研究，其后留学瑞典进一步深造纳米压印技术，并开始参与工业化项目的研发。毕业后以纳米压印专家的身份加盟Obducat公司，先后担任SMASH、ANIP等欧盟项目的技术负责人，以及LED衬底PSS（蓝宝石图案化衬底）、面板级铝线栅WGP、AR/VR光学元器件等多个产业化项目的技术负责人。

       个人简历：王大伟，深圳标准专家库专家，深圳市微纳制造产业促进会会长，蓝海优利（深圳）科技发展有限公司董事长。聚焦于微纳制造及新一代信息技术领域，为企业提供技术资产构建服务为核心的技术战略咨询。专注于为微纳制造领域的材料/工艺/设备共性技术企业的产业化进程，开展专业的技术产业化研究，提供开放的合作交流平台，搭建国际化的技术生态。

       个人简介：高育龙，中国工程师，中国微纳印刷领域的顶级专家，哈尔滨工业大学博士、中科院苏州纳米所印刷电子中心博士后、美国光学学会审稿专家，国家级高端人才(科技创业领军人才)获得者。

       个人简介：Lars Montelius教授自2014年9月1日起担任葡萄牙布拉加地区伊比利亚国际纳米技术实验室总监。他是瑞典隆德大学纳米科技方面的教授。2003-2009年期间担任隆德大学科学与工程学院物理系主任。2009-2011年担任Øresund大学及Øresund科学区总监，该组织是Øresund地区11所大学、3个地区政府及2个国家的跨境合作机构。Lars Montelius教授在2007-2012年期间担任瑞典纳米科技标准化技术委员会主席。他是瑞典多家纳米科技公司的创始人。曾担任国际真空科学技术与应用联盟主席，同时还是欧盟NMBP(纳米科技，先进材料，生物技术及先进制造处理)专家组决策层成员以及欧洲两大科技平台NANOFutures和EuMat的董事会成员及工作组负责人。Lars Montelius教授在纳米科技领域从业30年，工作围绕应用于多种纳米设备的光刻及处理技术。特别是在纳米压印及光刻方面，他和他的团队发表了多篇有影响力的论文。Lars Montelius教授已发表论文超过170篇，受邀发表演讲80多次，并且已经申请了54个专利。

       个人简介：Patrik Lundstrom 1992年毕业于瑞典兰德大学Business Administration, Business Law专业，2010年加入Obducat Group 任CEO至今。

       个人简介：Gabi Grützner是MRT公司创始人及CEO。自1993年成立以来，MRT已发展成为一家国际活跃的中型公司。在这样做的过程中，她不仅引导了创业导向，还为产品和技术开发提供了重要的创新动力。她在耶拿完成了化学研究，是一名生化学家，专注于物理和表面化学以及玻璃化学。随后，她在柏林电子厂担任光电元件开发的研究助理，后来成为了一名企业家。

       个人简介：2013年硕士毕业于中国科学院光电技术研究所，微纳光电子工艺研究方向。先后任职于中科院苏州纳米所、深圳清华大学研究院超滑技术研究所。从事新型微纳结构制备技术十余年，牵头完成异常起伏表面高分辨率光刻工艺开发、纳米压印模具精密拼接技术和高性能3D投影显示荧幕等相关工作；作为主要参与人员完成先导项目子课题透明导电膜、大面积防眩扩散薄膜等多项纵向横向项目；长期从事纳米压印模具开发和产品制备工作。申请专利6项，PCT专利一项。