Wonderful review | go straight to the final roadshow of "innovative product award" of MEMS competition!

开元通信是一家专注于４G＋/５G先进射频滤波器及模组芯片的创新企业，公司采用Fablite模式，在规模交付、市场响应速度、性能质量、成本等方面有着明显的竞争优势。其发布的“矽力豹Sili-BAW”产品在射频特性、量产一致性、功率耐受性、抗静电及防潮特性等方面，达到了国际一流的水平，获得了客户的广泛认可。其中，EP7041F产品采用８英寸晶圆，Die size为业界最小，在成本和性能上给客户提供更优解决方案。EP8046、EM8100产品已进入实际量产阶段。EM8490具有一流特性的国产全自研PAMiD，集成10颗BAW。此外，开元通信拥有国内最齐全的射频产品线，是本土唯一一家射频技术全覆盖的公司。

武汉敏声主要产品FBAR滤波器（薄膜体声波滤波器）使用硅基片，借助MEMS技术以及薄膜技术制造而成。武汉敏声现阶段自主研发的FBAR滤波器已经具备了优于普通Saw滤波器的特性。面对美日垄断、技术壁垒、人才短缺等行业痛点，武汉敏声不断加强技术创新，凭借多年技术积累布局发明专利百余项，内容涵盖结构设计、工艺制程、电子封装、单片集成等方面，建立了多维度多层次的专利壁垒，为抢占5G/6G无线通讯新赛道、参与国际竞争奠定了基础。武汉敏声在射频前端滤波器领域取得的技术突破，不仅获得业内认可，还得到资本市场的热捧。未来，其产品将在移动终端、５G基站、物联网等场景有着更加广泛的应用。

海谱纳米光学致力于推动高光谱超感知应用，助力人工智能技术革新，凭借团队在MEMS半导体二十多年的设计和芯片工艺制造经验，其MEMS 芯片工艺取得了突破，实现了高光谱MEMS芯片的微型化、低成本、量产化和连续可调，让高光谱技术真正民用化。此外，其光谱AI算法可以实现高精度的检测分析，提供一站式解决方案。目前，海谱纳米光学多款产品同步研发生产，覆盖全光谱，产业化速度全球领先，填补国内空白，是高光谱成像技术的领航者。产品广泛应用于智能手机、AIoT、自动驾驶、工业、安防、医疗等众多领域。

随着通信系统的发展，对滤波器不断提出小型化、高性能等要求，为了满足该要求，左蓝微电子以独特的MEMS微细加工技术，开发并量产了各种声表面波(SAW)滤波器和双工器。目前TC-SAW滤波器市场主要被村田等国外大厂占据，左蓝微电子是国内首家通过自主研发推出相关产品的企业。依托基于多模式耦合模（M-COM）和HCT（层次级联）仿真技术、高质量薄膜制备工艺与特殊键合工艺技术以及企业IP库，左蓝自主研发的TC－SAW产品不断优化，在高低温下具有优良的性能，TCF可达－16～20ppm/℃，性能比肩国际一线产品。

一径科技的激光雷达产品采用固态化的技术路线。利用MEMS技术实现光束的扫描，克服了传统机械电机在可靠性和寿命上难以满足车规可靠性的问题。其独创的MEMS技术是MEMS激光雷达领域技术性重大突破，克服了传统机械旋转式激光雷达在可靠性和寿命上难以满足车规可靠性的问题，为规模量产提供可能。MEMS激光雷达解决方案可提供灵活的感知系统配置方案，包括近距离和远距离产品阵列，实现系统性能和综合硬件成本的最优化。其中，ML-30s近场系列是目前市场上视场角最大的MEMS激光雷达；ML-Xs远场系列是目前覆盖距离最远的MEMS激光雷达。

以AlN为压电材料，具有无污染、价格低、易于集成等优势，茂丞科技设计并制造了基于AlN的PMUT，实现芯片式氮化铝超声波换能器，同时能实现较传统压电陶瓷超声波换能器更高共振频率的产品效能，有望填补中国在芯片级超声波传感器领域的空白。2017年，茂丞科技针对AlN压电微机械超声波换能器展开前沿探索研究，在新结构器件关键技术开发方面取得重要进展。2019年自研全国唯一的低功耗ToF超声波飞行时间TDC读出芯片。经过四年半的研发，取得全球第一的阵列式氮化铝ToF超声波芯片成果，累计发表８篇国际期刊会议论文，取得14项专利，产品应用于扫地机以及电子烟等创新应用市场。