展商推荐 | 西北工业大学宁波研究院即将亮相10月CHInano纳博会！

2021年是“十四五”规划纲要实施的开元之年，碳纤维、无机非金属、高性能复合材料等高端新材料；宽禁带半导体、光刻胶等电子高纯材料；微机电系统（MEMS）特色工艺作为规划纲要重点前沿科技发展方向，已逐渐成为各地争相发展新标地。全球蔓延的新型冠状病毒致使国际产业环境加速变动，对全球科技供应链产生广泛影响，中国作为世界唯一拥有全部工业门类的国家，肩负着科技发展的时代责任。

在此背景下，“CHInano 2021第十二届中国国际纳米技术产业博览会（The 12th CHInano Conference & Expo）”将于2021年10月27日-29日在苏州国际博览中心举办，共同探讨先进纳米技术产业发展大势。大会将以“山容海‘纳’|无‘微’不至”为主题，立足全国，放眼世界，为促进先进纳米技术产业卓有成效地全面发展提供国际性合作交流平台。

中心由宁波市政府与西北工业大学宁波研究院联合共建，结合西北工业大学微机电系统及纳米技术双一流学科，依托极端环境智能微系统国家重点实验室（培育）宁波分中心、空天微纳系统教育部重点实验室宁波分中心两大优势平台，建有国际先进、国内一流的8英寸硅基MEMS核心工艺加工共享服务平台（向下兼容6英寸/4英寸/2英寸），其中包括世界顶级SPTS深硅刻蚀机、SUSS MA8/BA8光刻/键合机、全自动涂胶显影机、ALD薄膜沉积设备、蒸镀设备（金/银/铝等金属、SiO2/Al2O3等介质）、激光隐切设备（硅、玻璃）、清洗机、甩干机、打线机、CMP、热氧化炉、椭偏仪、台阶仪、SEM等专业MEMS工艺设备。