Review of the 11th naexpo: Seminar on semiconductor device processing technology

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2020年10月28日-10月30日,由中科院人事局和江苏省纳米技术产业创新中心主办,中科院苏州纳米所、苏州纳米科技发展有限公司承办,中国电子学会材料学分会和苏州芯才科技有限公司协办的第八届半导体器件加工工艺与技术研讨会在苏州工业园区国际博览中心举办。

研讨会由中科院苏州纳米所加工平台副主任曾中明研究员主持,曾主任表示半导体技术是现代科学和现代技术结合的产物,半导体技术作为纳米技术中重要发展方向,半导体技术人才的培养至关重要。

研讨会邀请高校研究所及其企业著名纳米技术人才专家传授相关专业知识,特别针对化合物半导体电力电子器件和氮化铝MEMS器件的加工、测试、分析技术进行深入浅出的理论培训和技术研讨。本次研讨会共吸引了来自全国180余名学员前来参会,参与人员职业广泛,包含了科研院所的研发人员、学校的老师和学生、公司的研发经理和技术骨干。

纳米技术在半导体产业研究已取得一定的进展。技术和产业的发展政策支持是基础,人才支撑是关键世界各科技强国都纷纷将纳米技术列入国家的发展战略中国也推出纳米技术专项基金,制定诸多相关支持政策,从经费和政策层面保障纳米技术的发展。

中国国际纳米技术产业博览会开设的专业技术研讨会是提升专业技术人才创新创业能力的重要抓手,对于专业技术人才队伍建设,促进经济社会发展具有重要意义。本次研讨会是上述工程的重要组成部分,为我国纳米技术人才提供了交流和学习的重要平台,同时也是纳米技术产业人才的提升自我、开拓视野的盛会,必将大力推动我国纳米技术产业的发展。

2006年,江苏省、苏州市和苏州工业园区与中国科学院合作共建了中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所,设立了纳米加工平台,为纳米技术产业提供基础技术和器件制备测试支撑,开启了苏州工业园区率先在中国把纳米技术应用产业确立为区域战略性产业之路。

本次研讨会作为第十一届中国国际纳米技术产业博览会分会场,研讨会精心组织筹备,邀请了半导体技术领域的专家为大家讲授相应领域的现状和前沿进展,具体从超宽禁带氧化镓半导体功率电子器件(龙世兵)、Si基GaN功率电子器件综述:外延、器件、可靠性与应用(黄敬源)、用于微波无线能量传输的近理想GaN二极管研究(周弘)、碳化硅材料与器件研究进展(张璇)、5HZ以上单晶FBAR制备技术(董树荣)、射频谐振器和滤波器研究现状与进展(孙成亮)、基于机电耦合理论的新体制天线结构设计研究(李娜)、利用EvatecClusterline 200优化AlScN的溅射制备工艺(陆原)、MEMS制造和封装关键材料与设备介绍(王云翔)、Coventor软件在压电MEMS器件仿真设计中应用(皮本松)、AlN/AlScN压电材料与薄膜体声波谐振器(林文魁)、微纳米器件研发与工艺支撑(时文华)、III-V化合物半导体材料、器件与应用(黄勇)、MEMS关键封装技术及发展趋势(范亚明)进行了详尽的介绍和分析,并且安排有技术指导和讨论环节。

本次研讨会为期两天,对开拓纳米技术从业人员的视野,提升纳米技术人员的水平具有较大的帮助。




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