第三届纳博会分析测试
应用论坛

时间:2020年10月28-30日

地点:苏州国际博览中心B1馆

Conference Introduction

会议简介

半导体和新材料方面的检测处于检测分析行业金字塔的最顶端。针对国内半导体与新材料分析检测领域的现状与需求,胜科纳米(苏州)有限公司联合中科院苏州纳米技术与纳米仿生研究所测试分析平台,苏州纳米科技发展有限公司,于2018年第九届纳博会开始,同期举办“第一届纳博会分析测试应用研讨会”,截止目前已成功举办两届。“第二届纳博会分析测试应用研讨会”得到了Thermo fisher、Bruker、牛津仪器、leical、日立、Zeiss、Tescan、PHI、EDAX、YXLON、Picosun等公司的大力支持,吸引了400余名纳米新材料与半导体领域的专业人士参会,现场反响热烈。

现组委会召集举办“第三届纳博会分析测试应用研讨会”,研讨会以国际领先甚至独一无二的分析仪器为基础,依托科研人员独创性的分析方法与对仪器、产品、材料及工艺的深刻理解,为工业界解决实际生产过程中迫在眉睫或悬而未决的问题,进行技术和案例的分享与研讨。

关于“CHInano”

中国最具影响力的纳米技术交流盛会“中国国际纳米技术产业博览会”(CHInano),是中国最具权威、规模最大的纳米技术应用产业国际性大会。 大会由峰会(主报告、专题技术分会、应用论坛)、展览、对接会等部分组成,重点聚焦纳米新材料、微纳制造、MEMS、能源与清洁技术、纳米生物技术等产业领域,打造国际纳米技术产业交流合作平台。

Conference Introduction

会议组织

承办单位

  • 胜科纳米(苏州)有限公司
  • 中科院苏州纳米技术与纳米仿生研究所测试分析平台
  • 苏州纳米科技发展有限公司
  • 中国半导体行业协会MEMS分会

Main topics

主要议题

本次会议的讨论主题范围包含但不限于:

Speakers

纳博会分析测试应用论坛2019演讲嘉宾

在SEM中实现sub-5 nm EDS和1 nm分辨率的EBSD分析

  • 国籍:

    中国

  • 机构:

    布鲁克应用科学家

  • 职务:

    科学家

李国梁于2013年获得田纳西大学材料学博士学位,研究课题为运用分析电子显微学表征半导体外延薄膜的生长质量。随后在田纳西大学和圣母大学从事博士后工作,研究课题为运用STEM/EELS分析贵金属纳米颗粒的光学特性。2016年回国在天津理工大学材料系任职副教授。至今已发表论文16篇,其中代表作有Chem. Rev.和Nano Lett.等。2017年底加入布鲁克,主要负责EDS和EBSD等产品的推广和技术支持。

TESCAN纳米表征及分析技术

  • 国籍:

    英国

  • 机构:

    TESCAN

  • 职务:

    技术总监

上海交通大学客座研究员,TESCAN中国技术总监,主要从事材料微观结构的表征技术和表征方法的应用研究与技术推广,尤其是扫描电镜、FIB、能谱和EBSD技术对材料微观结构的表征方法。

高能K线的EDS检测,高空间分辨率EBSD对于半导体金属材料的应用

  • 国籍:

    中国

  • 机构:

    EDAX Inc

  • 职务:

    高级应用顾问

夏为民,现任阿美特克集团 EDAX 公司的应用专家。曾任教于清华大学,后服务于 Zeiss 公司。1984年开始从事电子显微分析。2001年进入 EDAX 公司。目前负责 EDAXEDS、WDS 和 EDXRF 产品售前与售后的技术支持,以及相应产品开发。

同时集合了软和硬X射线的商业化光电子能谱在表面分析中的突破和应用

  • 国籍:

    中国

  • 机构:

    高德英特北京科技有限公司

  • 职务:

    高德英特中国区执行总监

叶上远,毕业于南非开普敦大学,电动与电子工程学系。有超过15年在表面分析相关领域的经验, 当中包括在ULVAC-PHI日本总公司工作,在那里曾经参与了ULVAC-PHI表面分析仪器的详细仪器设计与开发,表面分析应用的技巧训练,和对系统的售后服务包括仪器安装、故障诊断和优化以达到分析应用上和用户使用的最大需求。此外,Wensly也负责对包括半导体,硬盘媒体,电子封装业,大学和研发研究机构客户和用户提供现场操作和高级的应用训练与支持。Wensly曾在亚洲各个地区如中国大陆、台湾、新加坡、泰国、菲律宾和马来西亚等等…进行过多次的应用研讨会及包括对AES、XPS和Tof-SIMS基本原理与高阶应用相关的用户培训,并也曾提供给各种工业用户在样品分析的支援和培训。目前,Wensly为 高德公司在中国区的销售和售后部总执行总监,主要专业包括在X射线光电子能谱仪(XPS),俄歇电子能谱(AES)和飞行时间二次离子质谱(TOF-SIMS)相关的表面分析技术。

牛津仪器高空间分辨率无窗EDS及超高速CMOS EBSD在半导体材料中应用进展

  • 国籍:

    中国

  • 机构:

    牛津仪器

  • 职务:

    应用科学家

徐宁安,牛津仪器应用科学家。2006年硕士毕业于北京科技大学,后就职于江苏省钢铁研究院,舍弗勒投资中国有限公司,主要从事利用显微分析手段进行产品开发、失效分析等工作。2014年加入牛津仪器,主要负责能谱、EBSD、OP的推广及技术支持。

透射电子显微术在氮化镓材料及器件表征中的应用

  • 国籍:

    中国

  • 机构:

    中国科学院苏州纳米所测试分析平台

  • 职务:

    助理研究员

苏旭军于2013年获得中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所材料物理化学博士学位,研究课题为氮化镓单晶衬底的制备与物性研究。随后在中国科学院苏州纳米所从事博士后工作,研究课题为运用TEM研究HVPE-AlN中缺陷。2017年6月入职中国科学院苏州纳米所测试分析平台,主要负责TEM的支撑服务和用户的培训工作.目前发表包括APL、JAP、Scientific Reports、JCG等SCI文章13篇。

SPM技术在宽禁带半导体材料和器件中的应用研究

  • 国籍:

    中国

  • 机构:

    中国科学院苏州纳米所测试分析平台

  • 职务:

    高级工程师

钟海舰于2012年获得中科院苏州所微电子学与固体电子学博士学位。自2004年至今一直从事与扫描探针显微镜相关的应用研究、技术开发和设备研制等工作,精研各种局域电学、磁学及光电耦合等高级应用测量模式及实验方法。作为项目负责人主持了国家自然基金面上项目和科技部重点研发项目子任务。参与了扫描近场光电多功能探针系统、超高真空深紫外近场光电探针系统等多项与扫描探针显微镜相关的实验装备的自主研发,并应用自主研发系统对石墨烯与宽禁带半导体构成的异质界面局域电学和光电性质开展了深入的研究,相关结果已经发表在PRM、APL、JAP等杂志。

最高解析度及大面積解析, 樣品製備和表徵的設備應用在 10 nm 元件上

  • 国籍:

    中国台湾

  • 机构:

    賽默飛世公司

  • 职务:

    高级应用经理

林坤興于2000年進入半導體設備領域,在應用材料公司任職期間專研於缺陷 檢測及分析,于2004加入賽默飛世公司負責芯片級SEM 和FIB雙束系統,熟悉半導體製程缺陷分析及監控流程,致力於協助客戶製程開發及良率提升,現任應用部經理負責產品的推廣,專案開發及技術支持。

日立SEM和FIB在半导体和新材料领域的最新应用和进展

  • 国籍:

    中国

  • 机构:

    天美科技有限公司

  • 职务:

    产品经理

周海鑫博士毕业于北京化工大学,主修高分子材料和化学专业,曾经在德国马克思普朗克高分子所电镜中心交流工作,对扫描电镜、透射电镜、聚焦离子束系统等的原理、操作和应用非常熟悉。周博士2013年加入天美(中国)科学仪器有限公司,主要负责日立扫描电镜、透射电镜、聚焦离子束系统等表面科学产品的技术支持和产品推广。

共聚焦拉曼光谱技术、共聚焦荧光显微镜在纳米材料、器件测试方面的应用

  • 国籍:

    中国

  • 机构:

    中科院苏州纳米所测试分析平台

  • 职务:

    助理研究员

郑树楠于2009年获得西安交通大学硕士学位,同年入职于中科院苏州纳米所测试分析平台,负责拉曼光谱仪,荧光显微镜,红外光谱仪测试设备,从事方向为利用拉曼光谱计算GaN材料中载流子浓度分布以及研究GaN材料中的应力、缺陷。至今已制订了一项国家方法标准,参与发表论文6篇。

先进封装技术与常见失效分析

  • 国籍:

    新加坡

  • 机构:

    胜科纳米(苏州)有限公司

  • 职务:

    研发部技术总监/公司战略官

张兮博士于1992年上海交通大学材料科学获得本科、硕士学位,1997年新加坡南洋理工大学博士,2008年英国布拉福德大学工商管理硕士(MDIS)。1997年至2018年期间任职新加坡库力索法公司和新加坡贺利氏公司,从事半导体封装键合材料(键合丝,焊膏,导电胶等等)的研发,工程管理,产品管理和销售管理等领域,先后担任研发部总监,产品经理,销售总监,以及工厂总经理等职务。 张兮博士于2018年受邀加入胜科纳米(新加坡),以其独特的技术和商务双背景,开阔的视野,带领参与公司封装技术相关的各类项目。

李国梁

李国梁

焦汇胜

焦汇胜

夏为民

夏为民

叶上远

叶上远

徐宁安

徐宁安

苏旭军

苏旭军

钟海舰

钟海舰

林坤興

林坤興

周海鑫

周海鑫

郑树楠

郑树楠

张兮

张兮

Main topics

2019议程安排

日期: 10月28日地点:A209-A210

时间安排
10月23日13:30-13:35胜科纳米董事长李晓旻致辞
10月23日13:35-14:05"XPS Application for Semiconductor EFA and PFA Workflow Solution for Packagin",葛青亲,Application Manager,Thermo Fisher
10月23日14:05-14:35“FIB / TEM在半导体行业物理故障分析的应用和挑战第一部分:基于TEM的技术进行微观结构表征”,刘兵海,胜科纳米技术总监
10月23日14:35-15:05热分析技术在材料中的应用,刘珊,中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所工程师
10月23日15:05-15:20茶歇/展览
10月24日15:20-15:50“日立电镜在半导体方面的最新应用”,周海鑫,天美
10月23日15:50-16:20“飞行时间-二次离子质谱仪(TOF- SIMS)的主要技术特点以及在材料/产品表面分析中的应用”,鲁德凤,PHI/Coretech销售经理
10月23日16:20-17:00“CT 断层扫描在半导体行业的应用”,唐立云,依科视朗销售总监
10月23日17:00-17:30“半导体晶圆制造中铝焊垫质量保证的表征/失效分析技术的研究和应用”,华佑南,胜科纳米首席运营官及副总裁
10月23日18:30-20:30交流晚宴
10月24日09:00-09:30“FIB / TEM在半导体行业物理故障分析的应用和挑战第二部分:通过基于TEM的技术进行相和化学成分表征”,刘兵海,胜科纳米技术总监
10月24日09:30-10:00“原子力显微镜在半导体工业的应用”,王书瑞,布鲁克高级系统应用工程师
10月24日10:00-10:20茶歇/展览
10月24日10:20-10:50“同位素示踪和纳米荧光方法用于封装失效研究的方法学”,张南,胜科纳米研发总监
10月24日10:50-11:20“Atom Probe样品制备”,Roger Alvis,业务拓展经理
10月24日12:00-13:30午餐及展览
10月24日13:30-14:00“ZEISS 3D X-Ray显微镜在电子领域中的应用”,赵浙,卡尔蔡司(上海)管理有限公司高级应用技术专员
10月24日14:00-14:30“同位素示踪和纳米荧光方法用于封装失效研究的案例应用”,张南,胜科纳米研发总监
10月24日14:30-15:00“纳米压痕/划痕技术测试应用”,陈科蓓,中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所助理研究员
10月24日15:00-15:20茶歇/展览
10月24日15:20-15:50“ALD原子层沉积技术在半导体制程与分析的应用”,叶国光,Picosun技术总经理
10月24日15:50-16:20“电子显微技术在氮物表征中的应用”,陈晶晶,中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所博士
10月24日16:20-16:50“扫描电子显微镜内的纳米操作与测量技术”,Brandon Chen,江苏省产业技术研究院微纳自动化所项目经理
10月24日16:50-17:20“胜科纳米:一条龙分析检测服务”,李正汉,胜科纳米技术总监

Contact/Fees&Login

会议费用用详见“门票公告”

联系方式

参会联系人:李晓东、钟佳彤

邮箱:xiaodong@wintech-nano.com、conf@chinanosz.com

电话:18605127087、18020228898

参展联系人:万成东

邮箱:wancd@sipac.gov.cn

电话:13584824068

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